0.02 μm的超高重复精度 ±0.02%F.S.的超高线性精度 ±60°的超大测量角度 10kHz的超高检测采样频率 适应不同被测物:镜面、透明 、半透明 、膜层 、深孔、内壁、多层玻璃
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