NVT-PSC3600

0.025 μm的超高重复精度,
±0.02%F.S.的超高线性精度,
±60°的超大测量角度,
10kHz的超快采样速度。
详细信息
型号 NVT-PSC3600
参考距离*1 14.5mm
测量范围 ±1.8mm
测量角度*2 ±21°
光斑直径*3 Φ12μm
静态噪声*4 160nm
横向分辨率 6μm
线性误差*5 <±0.8μm
最小可测厚度 5% of F.S.
温度特征 0.03% of F.S./°C

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